半导体卡盘

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产品描述

参数

特性项目					氮化铝AlN
产品编号 KemaTek No.					KMT-AN180
颜色 Color					灰色 Gray
主要成分含量 Main Content Percentage					96%氮化铝 96%AIN
主要特征 Main Characteristics					高热导率、抗热震性、优异的耐等离子体侵蚀性能 High Thermal Conductivity,Ecxellent Thermal Shocking Resistance,Excellent Plasma Resistance
主要用途 Main Applications					散热部件、耐侵蚀部件 Heat Dissipation Parts,Plasma Resistant Parts
密度 Bulk Density			g/cc	ASTM-C20	3.30
吸水率 Water Absorption			%	ASTM-C373	0
机械特性 Mechanical Characteristics	维氏硬度 Vickers Hardness(Load 500g)		GPa	ASTM C1327-03	10.0
	抗弯强度 Flexural Strength		MPa	ASTM C1161-02c	≥350
	抗压强度 Compressive Strength		MPa	ASTM C773	2500
	杨氏模量 Young's Modulus of Elasticity		GPa	ASTM C1198-01	320
	泊松比 Poisson's Ratio		-	ASTM C1198-01	0.24
	断裂韧性 Fracture Toughness		MPa·m^1/2	ASTM C1421-01b (Kevron notched beam)	-
热学特性 Thermal Characteristics	线性膨胀系数 Coefficient of Linear Thermal Expansion	40~400°C	×10^-6/°C	ASTM C372-94	4.8
	热传导率 Thermal Conductivity	20°C	W/（m·K）	ASTM C408-88	180
	比热 Specific Heat		J/(Kg·K)×10³	ASTM E1269	0.74
	抗热冲击能力 Thermal Shocking Resistance		°C	Note 1	-
电学特性 Electrical Characteristics	体积电阻率 Volume Resistivity	20°C	Ω·cm	ASTM D257-99	≥10¹⁴
	介电强度 Dielectric Strength		KV/mm	ASTM D149-97	≥15
	介电常数 Dielectric Constant（1MHz）		-	ASTM D150-98	9.0
	介电损耗系数 Loss Tangent(1MHz)		×10^-4	ASTM D150-98	5
化学特性 Chemical Characteristics	硝酸 Nitric Acid(60%)		重量损失（WT Loss）	-	-
	硫酸 Sulphuric Acid(95%)			-	-
	氢氧化钠 Caustic(30%)			-	-