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泛半导体核心零部件加工制造项目环境影响评价信息第二次公示

分类：新闻资讯
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发布时间：2022-03-14 15:09
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【概要描述】泛半导体核心零部件加工制造项目环境影响评价信息第二次公示依据《中华人民共和国环境影响评价法》、《环境影响评价公众参与办法》及建设项目环境影响评价的相关规定，现将泛半导体核心零部件加工制造项目环境影响评价工作情况进行第二次公示，有关公示信息如下：（一）环境影响报告书征求意见稿全文（详见附件1）。（二）征求意见的公众范围为拟建项目环境影响评价范围。（三）建设项目环境影响评价公众意见表（详见

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泛半导体核心零部件加工制造项目环境影响评价信息第二次公示

【概要描述】泛半导体核心零部件加工制造项目
环境影响评价信息第二次公示

依据《中华人民共和国环境影响评价法》、《环境影响评价公众参与办法》及建设项目环境影响评价的相关规定，现将泛半导体核心零部件加工制造项目环境影响评价工作情况进行第二次公示，有关公示信息如下：
（一）环境影响报告书征求意见稿全文（详见附件1）。
（二）征求意见的公众范围为拟建项目环境影响评价范围。
（三）建设项目环境影响评价公众意见表（详见

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依据《中华人民共和国环境影响评价法》、《环境影响评价公众参与办法》及建设项目环境影响评价的相关规定，现将泛半导体核心零部件加工制造项目环境影响评价工作情况进行第二次公示，有关公示信息如下：

（一）环境影响报告书征求意见稿全文（详见附件1）。

（二）征求意见的公众范围为拟建项目环境影响评价范围。

（三）建设项目环境影响评价公众意见表（详见附件2）

公众提出意见的方式和途径

公众可通过公布链接获取公众意见表，也可通过电话、信函、电子邮件或直接到建设单位等方式，向建设单位提交意见或咨询有关情况。

联系方式如下：

建设单位名称及联系方式

1、建设单位名称：四川珂玛材料技术有限公司

2、地址：四川彭山经济开发区成眉石化园区

3、联系人：王丹

4、电话：15983331966

环境影响评级机构名称及联系方式

1、评价机构名称：四川清绿州环保科技有限公司

2、地址：成都市大石东路58号5、6楼（原成都飞机研究所）

3、联系人：白工

4、电话：18770811734

5、邮箱：1084210255@qq.com

四川珂玛材料技术有限公司

2022年3月14日

附件一：

四川珂玛材料技术有限公司

泛半导体核心零部件加工制造项目环境影响报告书

征求意见稿

1 项目概况

项目名称：四川清绿洲环保科技有限公司

建设单位：四川珂玛材料技术有限公司

性质：扩建

建设地点：四川彭山经济开发区创新三路西段一号，具体如下：

图1 拟建项目地理位置图

建设内容及规模：据项目设计，拟投资15000万元在彭山经济开发区成眉石化园区内建设“泛半导体核心零部件加工制造项目”，新建厂房17300平米，其中半导体设备核心零部件（金属材料、硅材料、石英、陶瓷材料零部件）制造加工区（含仓库）预计11200平米，表面处理区6100平米，甲类库房170平米，甲类厂房60平米，项目建成后将达到平板显示器、半导体产业核心设备核心零部件加工及表面处理工件10000套。

2 产品方案

据项目设计，本项目主要产品为平板显示器、半导体产业核心设备核心零部件加工及表面处理工件，设计规模为年处理工件10000套，具体产品方案如下：

表2-1 产品方案单位：t/a

序号	产品名称	规格	产量（套/年）	备注
1	平板显示器、半导体产业核心设备核心零部件加工及表面处理工件	无标准规格，以客户需求为准	1000（旧料）	核心生产设备零部件生产、修复、再生加工（表面处理）
			9000（新料）

项目选址位于四川彭山经济开发区创新三路西段一号，位于四川彭山经济开发区成眉石化园区范围内，用地性质为工业用地。园区已开展规划环评及跟踪环评，根据与园区规划及环评、环评审查意见要求符合性分析，符合成眉石化园区规划，属于园区规划的允许发展产业，符合园区的产业定位及用地布局规划，与工业园区入园门槛及清洁生产要求相符，符合园区准入建议。项目与拟入驻园区规划相容。

3 主要生产工艺流程及产污分析

据项目设计，本项目建设核心零部件加工生产线，核心零部件表面处理生产线各一条。项目建成后可实现年加工平板显示器、半导体产业核心设备零部件10000套。具体工艺流程图如下所示：

1、核心零部件加工生产线

图2 平板显示器、半导体核心零部件加工生产线工艺流程及产污节点图

其中，仅高纯铝需进行阳极氧化表面处理，高纯钛和不锈钢仅进行精密加工和除油、喷砂表面处理。其中高纯铝表面处理具体工艺如下所示：

2、平板显示器、半导体核心零部件加工生产线----高纯铝表面处理工艺流程及产污节点图

图3 平板显示器、半导体核心零部件加工生产线-表面处理工艺流程及产污节点图

4 主要“三废”污染物产生、治理措施及排放

（1）废气

1）有组织

经分析，本项目正常运行过程中产生的废气污染物包括：

酸雾、碱雾、喷砂阶段产生的喷砂粉尘以及工件清洁阶段使用的丙酮溶液产生的有机废气。具体情况详见下表：

表4-1 拟建项目主要废气污染物产生、治理措施及排放情况一览表

产污单元		产生位置	代号	污染物名称	主要污染物	生产控制措施	末端治理措施
产污单元		产生位置	代号	污染物名称	主要污染物	生产控制措施	末端治理措施
铝件	阳极氧化线	硝酸酸洗	G1-2-1	酸雾	酸雾、氮氧化物	优化参数、工艺控制	项目产生的酸雾经反应槽两侧安装的集气装置收集；产生的碱雾经反应槽两侧安装的集气装置收集；收集后的酸雾及碱雾分别进入酸雾喷淋塔和碱雾喷淋塔进行喷淋中和后，汇合到1根15m排气筒排放。项目共设置6个碱洗槽、2个酸洗槽、1个阳极氧化槽。共配置2套废气喷淋中和设施（每套包含1座酸雾喷淋塔和1座碱雾喷淋塔），废气处理后经末端的15m高排气筒排放，共计设置2根15m高排气筒。
	阳极氧化线	阳极氧化	G1-2-2-	酸雾	酸雾、氮氧化物	优化参数、工艺控制
	预处理	喷砂	G1-3	喷砂废气	颗粒物	优化参数、工艺控制	项目设置有4台喷砂设备，每2台喷砂设备配置一套废气处理系统，项目产生的喷砂粉尘经每台设备配套的集气罩+小型布袋除尘设备处理后分别汇入15m 排气筒排放。
高纯钛、不锈钢、陶瓷、石英、硅	精密加工	喷砂	G1-4	喷砂废气	颗粒物	优化参数、工艺控制
高纯钛、不锈钢、陶瓷、石英、硅	清洗	工件清洁	G2-1	有机废气	丙酮、VOCs	优化参数、工艺控制	项目产生的挥发性有机物经反应槽两侧安装的集气装置收集后，经抽屉式活性炭吸附装置处理后经15m高排气筒排放。

2）无组织

无组织排放是指排气筒高度小于15m或不通过排气筒的废气排放。项目磷表面处理生产线绝大多数设备为密闭设备，物料输送采用密闭管道输送。经分析，本项目无组织排放主要来自阳极氧化车间（酸洗、阳极氧化过程未被收集到的酸雾、氮氧化物）、喷砂车间（喷砂过程未被收集到的颗粒物）。项目涉及无组织排放主要为生产车间。

经分析，本项目生产车间/装置废气污染物无组织排放识别情况见下表：

表4-2 项目生产装置/车间涉及废气污染物排放情况一览表

装置名称		涉及排入大气的物质	是否存在无组织排放	涉及无组织排放污染物
阳极氧化车间	阳极氧化	酸雾、氮氧化物	是	酸雾、氮氧化物
喷砂车间	预处理	颗粒物	是	颗粒物
精密加工车间	喷砂	颗粒物	是	颗粒物
清洗区	工件清洁	丙酮、VOCs	是	丙酮、VOCs

项目废气处理后酸雾、氮氧化物达到《电镀污染物排放标准》（GB21900-2008）中表5标准限值后有组织排放；丙酮、VOCs达到《四川省固定污染源大气挥发性有机物排放标准》（DB51/2377-2017）表4、表3标准限值后有组织排放；颗粒物达到《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2标准限制后有组织排放。

（2）废水

经分析，本项目正常运行过程中废水包括生产废水、生活污水。

其中，生产废水包括纯水制备废水、阳极氧化工段产生的清（漂）洗废水、喷淋废水、中央空调冷却水以及生活污水

本项目废水具体生产情况如下：

表4-3 废水产生及排放情况统计表

序号	废水种类	产生工序	主要污染物	处理措施及排放去向
1	纯水制备系统排水	纯水系统	少量SS和盐分等	经厂区污水处理站处理（经调节池+中和池预处理后，加药搅拌+一级絮凝沉淀池重力沉降，最后调节pH后砂滤）后，经生产废水总排口排入园区市政管网。
2	清漂洗用水	清洗	pH、化学需氧量、总铝、总铜、总锌、总铁
3	废气净化系统排水	水浴、酸洗、碱喷淋等	pH、硫酸盐、稀硝酸等
4	中央空调冷却水	调温	/	循环使用，不外排
5	生活污水	食堂、办公	pH、COD、BOD₅、NH₃-N、SS、总磷、动植物油	经一期预处理设施收集，经生活排口排入园区市政管网。

由上表可知，本项目表面处理产生的清漂洗用水、纯水制备系统排水、废气净化系统排水经厂区污水处理站处理后满足《电镀污染物排放标准》（GB21900-2008）中表2标准限值后，排入园区市政管网；另外，办公生活区正常运行过程中产生的生活污水经收集、预处理后满足《污水综合排放标准》（GB 8978 1996）三级标准后，由园区市政污水管网收集汇入成眉石化园区污水处理厂处理后达到《城镇污水处理厂污染物排放标准》（GB18918-2002）中“一级A标”后，进入深度处理单元（处理工艺为“反硝化生物滤池+人工湿地处理系统”）处理后出水达到《地表水环境质量标准》（GB3838-2002）中“Ⅲ类水域标准限值”（TN达到DB51/2311-2016中“城镇污水处理厂”标准）后排入毛河。

图4 厂区一期污水处理站工艺流程示意图

（3）固废

经分析，项目固体废物主要包括一般废物和危险废物两类。

一般废物主要包括生活垃圾、机加工边角料、报废工件、除尘设备粉尘等。其中，生活垃圾统一收集后交由当地环卫部门处理；机加工边角料收集后外售至回收部门；报废工件由客户自行回收；除尘设备粉尘集中收集后定期交由环卫部门清运；

危险废物主要为含油抹布手套、阳极氧化酸碱废液、阳极氧化废液、生产废水处理设施污泥、废矿物油、废丙酮液、废活性炭，上述危险废物均收集后交由有危险废物处理资质的单位进行处理。

本项目拟新建危险废物暂存库及一般废物暂存库各一座。一般废物暂存库按《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB18599-2020）相关要求进行“防风、防雨、防渗”处理。危险废物暂存库严格按照《危险废物储存污染控制标准》的要求设计，做好“防风、防雨、防晒、防渗” 四防措施（且库内设置地沟并进行防渗处理）；危废暂存间必须按《环境保护图形标志》（GB15562-1995）的规定设置警示标志，周围应设置围墙或其他防护栅栏；作好危险废物情况的记录，记录上须注明危险废物的名称、来源、数量、特性和包装容器的类别、入库日期、存放库位、废物出库日期及接受单位名称。建设单位在投产之前，需与相应危废处置单位签订外委处置协议，确保各类危废均由相关危废单位妥善清运处置。通过上述措施，确保本项目产生的固体废物得到妥善的处理，不造成二次污染。

（4）噪声

据项目设计，本项目主要来源为空压机、冷却塔、冷水机组、水泵、空调外机，采用以下隔声降噪措施：

1）选择空压机时要求设备进行消音处理，在空气进出口对其设备进行消音处理，并在压缩机气体进出口管线上安装消音器，尽量降低噪声强度。

2）选择噪音较小的水泵，尽量控制泵区产生的噪音。

3）设备安装阶段采取适当的降噪措施，机组基础设置衬垫，使之与建筑结构隔开

4）空调外机、空压机房、冷水机房、水泵房作吸音、隔音处理等；

5）管线设计时，合理正确的选择输送空气及液体等介质在管道内的流速，防止产生噪声

6）加强设备维护，确保设备处于良好的运转状态，杜绝因设备不正常运转时产生的高噪声现象。

综上所述，本项目拟采取优化总图布置，合理布局，并对高噪声源有针对性地采取降噪、隔声、消声及减振等综合措施，实现厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中相应功能区标准，可保证项目噪声影响满足相关要求。

（5）地下水

按照导则要求，将本项目厂区分为简单防渗区、一般防渗区、重点防渗区，分别采取不同等级的防渗措施，防渗层在地表铺设，按照污染防治分区采取不同设计方案，具体如下：

①重点防渗区须满足等效黏土防渗层Mb≥6.0m，渗透系数K≤1×10^-7cm/s的要求，危废暂存间须确保防渗层满足渗透系数K≤1.0×10^-1⁰cm/s的要求；

②一般防渗区须满足等效黏土防渗层Mb≥1.5m、渗透系数K≤1.0×10^-7cm/s要求；

③简单防渗区：一般地面硬化即可。

除此之外，全厂相关涉水生产设备、管道及构筑物（重点为涉及腐蚀性区域）采取相应的防腐设施，制定相应的设备检修计划、污染物排污监测及环境要素监测计划，确保项目正常稳定运行及区域环境影响可接受。

四川珂玛材料技术有限公司

2022年3月14日

附件二

建设项目环境影响评价公众意见表

填表日期 年月日

项目名称	XXX项目
一、本页为公众意见
与本项目环境影响和环境保护措施有关的建议和意见（注：根据《环境影响评价公众参与办法》规定，涉及征地拆迁、财产、就业等与项目环评无关的意见或者诉求不属于项目环评公参内容）	（填写该项内容时请勿涉及国家秘密、商业秘密、个人隐私等内容，若本页不够可另附页）
二、本页为公众信息
（一）公众为公民的请填写以下信息
姓名
身份证号
有效联系方式（电话号码或邮箱）
经常居住地址		xx省xx市xx县（区、市）xx乡（镇、街道）xx村（居委会）xx村民组（小区）
是否同意公开个人信息（填同意或不同意）		（若不填则默认为不同意公开）
（二）公众为法人或其他组织的请填写以下信息
单位名称
工商注册号或统一社会信用代码
有效联系方式（电话号码或邮箱）
地址		xx省xx市xx县（区、市）xx乡（镇、街道）xx路xx号
注：法人或其他组织信息原则上可以公开，若涉及不能公开的信息请在此栏中注明法律依据和不能公开的具体信息。